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Laser processing of thin films and microstructures: oxidation, deposition and etching of insulators

Boyd, Ian W.

Laser processing of thin films and microstructures: oxidation, deposition and etching of insulators
Information
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Catégorie

Testo

Nature

Monografia

Titre

Laser processing of thin films and microstructures: oxidation, deposition and etching of insulators

Des noms

[Autore] Boyd, Ian W.

Description

Laser processing of thin films and microstructures: oxidation, deposition and etching of insulators / Boyd, Ian W.

Édition

New York: Springer Verlag, 1987

Description physique

(Springers Series in Materials Science, 3)

Place de publication

320 p.; 23 cm

Village

GRAN BRETAGNA

Langue

INGLESE

Source

Biblioteche SBN Sardegna

ID

IT\ICCU\RMS\1483899

Liens de ressources

http://id.sbn.it/bid/RMS1483899
Biblioteca del Distretto biomedico scientifico - sezione Beniamino Orrù

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